摘要 :

首先介紹疊層封裝技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀及最新發(fā)展趨勢(shì) , 然后采用最傳統(tǒng)的兩層疊層封裝結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析 , 包括描述兩層疊層封裝的基本結(jié)構(gòu)和細(xì)化兩層疊層封裝技術(shù)的 SMT組裝工藝流程。最后重點(diǎn)介紹了目前國(guó)際上存在并投入使用的六類主要的疊層封裝方式范例 , 同時(shí)進(jìn)一步分析了疊層封裝中出現(xiàn)的翹曲現(xiàn)象以及溫度對(duì)翹曲現(xiàn)象的影響。分析結(jié)果表明 :由于材料屬性不同會(huì)引起正負(fù)兩種翹曲現(xiàn)象;從室溫升高到 150 ℃左右的時(shí)候易發(fā)生正變形的翹曲現(xiàn)象, 在 150 ℃升高至 260 ℃的回流焊溫度過程中多發(fā)生負(fù)變形的翹曲現(xiàn)象。

0　引言

隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)以及立體封裝技術(shù)的不斷發(fā)展 , 電子器件和電子產(chǎn)品對(duì)多功能化和微型化的要求越來越高。在這種小型化趨勢(shì)的推動(dòng)下 , 要求芯片的封裝尺寸不斷減小。根據(jù)國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)路線圖 (ITRS), 三維疊層封裝技術(shù)能更好的實(shí)現(xiàn)封裝的微型化 。三維疊層封裝具有如下特點(diǎn) :封裝體積更小 , 封裝立體空間更大, 引線距離縮短從而使信號(hào)傳輸更快, 產(chǎn)品開發(fā)周期短投放市場(chǎng)速度快等。疊層封裝主要應(yīng)用在移動(dòng)手機(jī)、 手提電腦、數(shù)碼相機(jī)等手持設(shè)備和數(shù)碼產(chǎn)品中。三維疊層封裝主要分為三種形式:載體疊層 、 裸芯片疊層和晶圓疊層。3D裸芯片疊層封裝技術(shù)主要有多芯片封裝 (multi-chippackaging, MCP)、內(nèi)置封裝技術(shù)(package-in-package,PiP)和 疊 層 封 裝 技 術(shù)(package-on-package, PoP)。本文主要介紹疊層封裝。PoP就是在一個(gè)處于底部的封裝件上再疊加另一個(gè)與其相匹配的封裝件 , 組成一個(gè)新的封裝整體。PoP的各封裝件之間相對(duì)比較獨(dú)立 , 同時(shí)能對(duì)底部和頂部的封裝器件進(jìn)行單獨(dú)測(cè)試, 以保證其滿足預(yù)先設(shè)定的參數(shù)和良好的性能, 這樣更能滿足KGD (knowngooddie)的要求 , 有較高的器件封裝良品率。由于 PoP封裝的獨(dú)立性表現(xiàn)在保證各封裝體測(cè)試過關(guān)的前提下可以將不同廠商的封裝器件堆疊匹配封裝在一起, 所以器件的選擇也具有更大的自由靈活性 , 這是 PoP工藝的最大優(yōu)勢(shì)。同時(shí)在PoP封裝中即使出現(xiàn)了問題 , 也可以拆開來單獨(dú)檢修、測(cè)試 , 因而堆疊封裝技術(shù) PoP成為主要的 3D封裝技術(shù) 。最簡(jiǎn)單的 PoP封裝包含兩個(gè)疊層裸芯片, 具體實(shí)例有日本的堆疊式內(nèi)存 , 這種堆疊式內(nèi)存結(jié)構(gòu)由含有一個(gè)閃存和一個(gè) SRAMM內(nèi)存的雙裸片組 成的;目前, 疊層 密 度最 高 的實(shí) 例 是Samsung公司應(yīng)用于 3G手機(jī)的 6層疊層存儲(chǔ)芯片;同時(shí)作為引線鍵和疊層方式的擴(kuò)展 , ASE公司在疊層封裝中使用了引線鍵合和倒裝鍵合相結(jié)合的混合鍵合的封裝方式。

1 PoP組裝工藝流程

疊層封裝技術(shù)經(jīng)過近十年的時(shí)間, 已經(jīng)發(fā)展得十分成熟。疊層封裝器件分為兩類 :一類是存儲(chǔ)器與存儲(chǔ)器堆疊在一起;另一類是底層為邏輯器件而頂層為存儲(chǔ)器件。最典型的疊層封裝技術(shù) PoP的封裝模型由圖 1所示。

最簡(jiǎn)單的 PoP模型是兩層堆疊模型 , 除此之外還有多層堆疊模型。一般簡(jiǎn)單的兩層堆疊模型組成結(jié)構(gòu)是分為上下兩部分 , 即底部和頂部 , 而且底部和頂部的封裝器件功能是不同的。通常情況下底部的封裝件是一個(gè)高集成度的邏輯器件, 頂部的封裝件是一大容量的存儲(chǔ)器或存儲(chǔ)器件組合。多層堆疊封裝體的結(jié)構(gòu)與簡(jiǎn)單疊層封裝體結(jié)構(gòu)相比, 不同之處在于其頂部可以是多個(gè)具有存儲(chǔ)功能的存儲(chǔ)器封裝器件。由綜上所述可以看出疊層封裝技術(shù) PoP的出現(xiàn)已經(jīng)模糊了封裝與組裝的界線。本文以最簡(jiǎn)單的兩層疊層封裝技術(shù)為例介紹其 SMT封裝流程 ,其封裝流程圖如圖 2所示 。在進(jìn)行 PoP的 SMT封裝之前首先要對(duì)非 PoP面元件進(jìn)行組裝, 其中的工藝流程包括傳統(tǒng)的絲網(wǎng)印刷、 貼片、回流和檢測(cè) 。然后再進(jìn)行 PoP面元件的組裝。疊層封裝技術(shù) PoP的 SMT工藝流程如圖 2所示。

圖 2中 : (a)圖為首先利用表面貼裝技術(shù)在封裝基板上貼裝元件如電阻、電容等; (b)圖為然后拾取 PoP底部封裝器件; (c)圖為將底部封裝器件放置在基板上, 進(jìn)行貼裝 ; (d)圖為在頂部基板上涂覆助焊劑; (e)圖為將頂部封裝器件放置在底部封裝器件上;(f)圖為對(duì)整體封裝器件進(jìn)行回流焊接; (g)圖為對(duì) PoP封裝體進(jìn)行底部填充; (h)圖為對(duì) PoP封裝體的底部填充進(jìn)行固化 , 從而完成 PoP的 SMT封裝。

2 PoP發(fā)展現(xiàn)狀與可靠性分析

由于 PoP封裝技術(shù)能更好地實(shí)現(xiàn)封裝的微型化 , 并且具有如下特點(diǎn):封裝體積更小, 封裝立體空間更大, 引線距離縮短從而使信號(hào)傳輸更快 , 產(chǎn)品開發(fā)周期短投放市場(chǎng)速度快等, 所以被廣泛地應(yīng)用在移動(dòng)手機(jī)、手提電腦 、數(shù)碼相機(jī)等手持設(shè)備和數(shù)碼產(chǎn)品中 。國(guó)際上關(guān)于 PoP封裝技術(shù)的專利有幾十種, 主要分為以下七類 :常規(guī)疊層式封裝、帶中空式轉(zhuǎn)接板的層疊式封裝 、帶覆蓋式轉(zhuǎn)接板的層疊式封裝 、空腔基板型層疊式封裝、 模封陣列型層疊式封裝、 模料穿孔型層疊式封裝和扇入型層疊式封裝。各類封裝范例如圖 3所示。

PoP封裝面臨的最嚴(yán)重的可靠性問題是翹曲現(xiàn)象。習(xí)慣上將翹曲現(xiàn)象根據(jù)形狀定義如下:若翹曲形狀為向上凸則稱之為正變形, 若翹曲形狀為向下凹就稱之為負(fù)變形 , 如圖 4所示。

影響翹曲因素主要是封裝基板和芯片的材料屬性 , 包括熱膨脹系數(shù) CTE和彈性模量。在室溫和回流焊溫度下材料屬性對(duì)疊層封裝翹曲現(xiàn)象的影響是不同的, 如圖 5所示。

由圖 5可以看到在室溫下條件下隨著彈性模量和熱膨脹系數(shù)的變化 , 翹曲數(shù)值都基本為正, 表現(xiàn)為向上凸的正變形;而在回流焊高溫條件下隨著彈性模量和熱膨脹系數(shù)的變化, 翹曲數(shù)值都為負(fù)數(shù) ,表現(xiàn)為向下凹的負(fù)變形。目前改善疊層封裝PoP翹曲現(xiàn)象的研究主要包括結(jié)構(gòu)優(yōu)化、材料選擇和工藝優(yōu)化三個(gè)方面。封裝結(jié)構(gòu)一般包括硅芯片 、 塑封材料和基板三部分, 其中硅芯片和基板之間的熱膨脹系數(shù)不匹配是引起翹曲現(xiàn)象的主要原因。在由室溫升高到回流焊溫度又由高溫逐漸冷卻到室溫的溫度變化過程中 , 會(huì)產(chǎn)生化學(xué)收縮和熱收縮現(xiàn)象 , 由此而導(dǎo)致翹曲現(xiàn)象。塑封料作為中間介質(zhì)可以起到補(bǔ)償作用 。塑封料中一般都含有超過80%的填充材料, 填充材料比例越大化學(xué)收縮值就會(huì)越小。而熱收縮值由下面的等式?jīng)Q定。

式中:α表示熱膨脹系數(shù) ;tg 表示玻璃轉(zhuǎn)換溫度。由公式 (1)可知 , 減小α可以減小熱收縮值 。所以在封裝工藝中經(jīng)常采用減小熱膨脹系數(shù)的方法來降低翹曲現(xiàn)象。

另外還可以通過減小芯片尺寸大小和減薄芯片厚度來增大塑封料的比例 , 進(jìn)而降低翹曲現(xiàn)象。常采用的芯片減薄方法有研磨、 深反應(yīng)離子刻蝕法(DRIE)和化學(xué)機(jī)械拋光法 (CMP)等工藝, 通常減薄至 50 μm左右 , 目前減薄技術(shù)可將圓片減薄 10至 15 μm, 為確保電路的性能和芯片的可靠性, 圓片減薄的極限為 20 μm左右, 否則會(huì)影響存儲(chǔ)器的性能。直接減薄芯片厚度, 產(chǎn)生的殘余應(yīng)力會(huì)影響存儲(chǔ)器的性能。此時(shí)可以利用晶圓拋光技術(shù)來釋放應(yīng)力, 增強(qiáng)芯片的健壯性。

3　結(jié)論

在滿足電子產(chǎn)品更快數(shù)字信號(hào)處理、 更大存儲(chǔ)容量、成本更低 、體積更小的要求, 尤其在堆疊復(fù)雜邏輯器件和存儲(chǔ)器器件方面, PoP是一種上市時(shí)間短、 成本低的疊層封裝解決方案。除了綜上所述的可靠性問題, 疊層封裝方案還存在著一些缺陷, 例如由于芯片尺寸不匹配而導(dǎo)致的線鍵合過程中的引線過長(zhǎng) , 就會(huì)增加引線鍵合工藝的難度和成本, 還可能會(huì)由于后道塑封工序的工藝問題出現(xiàn)金線沖彎、短路 、脫球等現(xiàn)象 , 從而導(dǎo)致封裝產(chǎn)品的失效 ;由于引線鍵合過程中的布線密度比較高, 極易出現(xiàn)引線短路, 導(dǎo)致引線鍵合工藝失敗;若相鄰芯片的間距過小而無法進(jìn)行引線鍵合, 則可能導(dǎo)致封裝失敗。這些工藝缺陷都是疊層封裝面臨的挑戰(zhàn) , 亟待解決。