

多層陶瓷電路板以氧化鋁、氮化鋁、玻璃陶瓷為基材,利用同質(zhì)共燒或低溫共燒工藝,將導(dǎo)電層、介質(zhì)層、阻抗控制層疊合在數(shù)十甚至上百層內(nèi)部空間,構(gòu)成高密度互連網(wǎng)絡(luò),高頻損耗低,熱擴(kuò)散快,適配芯片直接鍵合與系統(tǒng)級(jí)封裝,已成為航空航天、毫米波通信、電動(dòng)車功率模塊的首選基板。其物理致密度達(dá)到98%以上,熱導(dǎo)率可達(dá)170 W/m·K,耐受–55 ℃至250 ℃循環(huán),應(yīng)力微裂概率低于10 ppm,保障器件長(zhǎng)時(shí)穩(wěn)定。產(chǎn)業(yè)鏈從陶瓷粉體成球、帶材流延、絲網(wǎng)印刷、層壓、脫脂、燒結(jié)到后段研磨、金屬化、化學(xué)鍍鎳金,形成嚴(yán)密閉環(huán),材料工程、機(jī)械加工、電子設(shè)計(jì)規(guī)則深度交叉,技術(shù)壁壘高。
在設(shè)計(jì)階段,工程師關(guān)注介質(zhì)常數(shù)、損耗角和熱膨脹系數(shù)匹配,陶瓷基板須與GaN、SiC、GaAs芯片保持±1 ppm/K熱膨脹差,避免焊點(diǎn)疲勞;微波段走線寬高比按3D仿真確定,使|S??|低于–20 dB。信號(hào)層與接地層通過(guò)貫通孔電鍍銅實(shí)現(xiàn)屏蔽,最小通孔直徑40 μm,層間錯(cuò)位誤差<15 μm。阻抗控制采用厚膜銀鈀漿或銅漿,多次回流燒結(jié)后方差控制在3 Ω以內(nèi)。電源層疊中埋吸熱腔體,結(jié)合DBC銅塊,大幅降低結(jié)溫,提高模塊壽命。
制造方面,低溫共燒陶瓷(LTCC)流程以玻璃粉輔助,燒結(jié)溫度850–900 ℃,可與銀漿共燒;高溫共燒陶瓷(HTCC)以Al?O?粉加TiO?助燒,溫度1550–1600 ℃,機(jī)械強(qiáng)度高。流延制成的綠帶厚度控制在50 μm,激光鉆孔形成通孔,再經(jīng)絲網(wǎng)印刷填充導(dǎo)電漿;多層對(duì)位環(huán)境濕度<45%,層壓壓力8–10 MPa,真空脫脂防氣泡;燒結(jié)升溫速率1–3 ℃/min,恒溫時(shí)間依結(jié)構(gòu)而定。后段研磨去除翹曲,表面粗糙度Ra 0.2 μm,為后續(xù)真空釬焊提供親合界面。若采用銅漿或厚銅層,則需氫氣還原及惰性氣體燒結(jié),接著電鍍Ni/Au或Ag,兼顧鍵合強(qiáng)度與焊錫潤(rùn)濕性。
可靠性驗(yàn)證覆蓋熱沖擊1000 次、電瞬態(tài)、機(jī)械振動(dòng)30 g、交變濕熱85 ℃/85%RH 1000 h,剖面X-ray評(píng)估共燒缺陷,SAM檢測(cè)層間分層,焊料疲勞以IPC-9701標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行。對(duì)航空電子,必須額外通過(guò)微震動(dòng)譜實(shí)驗(yàn)與真空加速壽命試驗(yàn);對(duì)醫(yī)療植入,需ISO 10993生物相容性測(cè)試。
應(yīng)用端正在快速擴(kuò)展。毫米波天線陣列借助多層陶瓷電路板內(nèi)嵌相移網(wǎng)絡(luò),實(shí)現(xiàn)28 GHz到60 GHz低波束散射;電動(dòng)車硅碳MOS功率模塊使用多層陶瓷電路板替代DBC功率基板,使晶閘管結(jié)溫下降12 ℃;雷達(dá)收發(fā)機(jī)將低噪聲放大器、移相器、PA和電源-地層共封裝于40 × 40 mm模塊,重量降低35%。在高能激光、電源轉(zhuǎn)換、量子計(jì)算控制芯片等場(chǎng)景,多層陶瓷電路板正替代金屬基板,成為高功率密度器件散熱核心。
市場(chǎng)層面,全球多層陶瓷電路板規(guī)模2024年突破38 億美元,年復(fù)合增長(zhǎng)率12.6%,其中亞太占比65%。中國(guó)大陸擁有從粉體到整機(jī)的完整供應(yīng)鏈,但高端銀鈀漿料、氮化鋁高導(dǎo)陶瓷依賴進(jìn)口,國(guó)產(chǎn)替代已進(jìn)入中試;美國(guó)與日本保持材料和裝備先發(fā)優(yōu)勢(shì),細(xì)分市場(chǎng)中型企業(yè)通過(guò)專利封鎖維持溢價(jià)。投資重點(diǎn)聚焦超薄氮化鋁帶材制備、高散熱金屬化方案及智能檢測(cè)裝備。標(biāo)準(zhǔn)方面,IEC正在修訂多層陶瓷電路板可靠性等級(jí),與IPC-4101結(jié)合,未來(lái)料將納入汽車電子AEC-Q200體系。
技術(shù)趨勢(shì)顯示,LTCC與有機(jī)樹(shù)脂協(xié)同封裝(HLCC)起步,兼具陶瓷高頻與樹(shù)脂柔性;無(wú)氧銅直接燒結(jié)至AlN表面,提高界面熱阻穩(wěn)定性;三維微結(jié)構(gòu)打印將復(fù)雜空腔、冷卻通道直接集成于多層陶瓷電路板,制程更短,設(shè)計(jì)自由度更大。Chiplet異構(gòu)集成需要高密度垂直互連,20 μm-30 μm孔徑乃至激光成型金屬柱正在實(shí)裝。綠色制造方面,循環(huán)回收粉體、高溫爐余熱利用成為節(jié)能重點(diǎn),燒結(jié)過(guò)程碳排核算體系正納入ESG報(bào)告。
隨著射頻器件功率密度持續(xù)飆升與汽車電氣化加速,多層陶瓷電路板憑借優(yōu)異介電性能、散熱能力、機(jī)械強(qiáng)度,將在集成電路先進(jìn)封裝與功率電子領(lǐng)域扮演不可替代角色,材料工程、設(shè)備工藝、設(shè)計(jì)軟件三方協(xié)同,行業(yè)壁壘日趨提升,創(chuàng)新窗口正迅速關(guān)閉。多層陶瓷電路板將繼續(xù)驅(qū)動(dòng)下一代高可靠、高頻、高散熱電子系統(tǒng)躍遷。